Санҷиши ноҳамвории сатҳ, баландии зина ва ғафсии плёнкаи тунук дар пластинаҳои нимноқилӣ, линзаҳои оптикии дақиқ ва ҷузъҳои пӯшонидашуда мустақиман ҳосилнокии истеҳсолотро муайян мекунад. Сканкунии анъанавии зондҳои тамосӣ ба осонӣ намунаҳои нозукро харошида метавонад, дар ҳоле ки таҷҳизоти оддии ченкунии оптикӣ наметавонад дақиқии сатҳи нано-ро таъмин кунад. Чӣ тавр ба санҷиши ғайривайронкунанда, дақиқии ултра-баланд ва санҷиши истеҳсоли массаи баландсифат дар як вақт ноил шудан мумкин аст?
Интерферометри нави саноатии нури сафеди Wavelength OE дорои режимҳои дугонаи андозагирии интерферометрӣ мебошад. Бо ошкоркунии ғайритамос, он тамоми ҷараёни корро аз таҳқиқот ва рушди лабораторӣ то назорати сифати истеҳсолоти онлайн фаро мегирад.
Усулҳои интерферометрияи дугона барои ҳама гуна топографияи сатҳӣ
Бар хилофи дастгоҳҳои ченкунии якмода, ин система алгоритмҳои VSI (интерферометрияи сканкунии амудӣ) ва PSI (интерферометрияи фазаро ивазкунанда)-ро муттаҳид мекунад ва ду талаботи асосии ченкуниро бо як дастгоҳ қонеъ мегардонад.
| Маводи муқоисавӣ | VSI / CSI | PSI |
|---|---|---|
| Сатҳҳои асосии татбиқшаванда | Сатҳҳои ноҳамвор, зинапояҳо, топографияҳои ноҳамвор ва мураккаб | Сатҳҳои ултра ҳамвор, пайваста ва оинашакл |
| Диапазони андозагирии баландии амудӣ | Диапазони васеъ; қобилияти чен кардани чуқуриҳои амиқ ва зинаҳои баланд | Диапазони танг; барои қадамҳои калони ҷудогона мувофиқ нест |
| Қарори амудӣ | Сатҳи нанометр; зернанометр, ки бо алгоритмҳои оптимизатсияшуда ба даст оварда мешавад | Қарори баландтарин; такроршавандагӣ то зернанометр ҳатто сатҳи зерангстрем |
| Таҳаммулпазирӣ ба ноҳамвории сатҳӣ | Баланд | Паст |
| Номуайянии марҳилавӣ | Қариб ҳеҷ чиз нест; баромади арзиши мутлақи баландии дастрас аст | Ба хатогии печонидани фазаи 2π вобаста аст |
| Чен кардани суръат | Сканкунии меҳвариро талаб мекунад, нисбатан суст | Умуман тезтар |
| Муқовимат ба ларзиш | Ҳангоми сканкунӣ ба ларзиш ҳассос аст | Ивазкунии фазаи бисёрфреймӣ, ҳассостар ба ларзиш |
| Барномаҳои маъмулӣ | Ноҳамворӣ, баландии зинапоя, микросохторҳо, сатҳҳои коркардшуда | Санҷиши ноҳамвории сатҳи ултра ҳамвор, шакли сатҳ ва ҳамворӣ |
PSI (Интерферометрияи тағйирдиҳандаи фаза): Дар хусусиятҳои баландии хурди нано-миқёс ва плёнкаҳои ултра тунук тахассус дорад, ки қарори ниҳоии микроскопиро таъмин мекунад.
Оинаи ҳамвор
Оинаи каҷ (Оинаи қаҷ)
Намунаи намунаи фотолитографӣ
Интерферометрияи сканкунии амудии VSI: Барои қисмҳои корӣ бо тағирёбии баландии калон ва зинаҳои баланд оптимизатсия шудааст; диапазони пурраи ченкунӣ бидуни сканкунии сегментӣ дастрас аст.
Массиви микробумҳои даврашакл дар вафлиҳои бастабандишудаи пешрафта
Массиви микробумҳои эллиптикӣ дар вафлиҳои бастабандишудаи пешрафта
массиви микролинзаҳо
Бо манбаи нури сафеди кӯтоҳмуддати 450-700 нм мувофиқ карда шудааст, он метавонад нури бегонаро аз инъикосҳои сершумор самаранок пахш кунад ва самаранокии баланди зидди халалдоркуниро таъмин намояд. Ин ҷузъи оптикӣ бо инъикоси паст, ки бо рӯйпӯшҳои бисёрқабата муҷаҳҳаз шудааст, метавонад сигналҳои халалдоркунандаи устувор ва равшанро барорад ва натиҷаҳои андозагирии боэътимод ва аслӣ диҳад.
2. Мушаххасоти нано-синфи пешбари соҳа, маълумоти пайгирӣшаванда ва устувори дарозмуддат
-Система манбаи нури сафеди LED-ро бо дарозии мавҷи марказӣ дар 550 нм қабул мекунад, ки бо параметрҳои иҷрои аслии сатҳи баланд, ки ба стандартҳои премиуми ҷаҳонӣ мувофиқат мекунанд, муҷаҳҳаз шудааст.
- Қарори амудӣ: <1 нм, хатогии такрории андозагирӣ: <10 нм, дақиқии ҳақиқии нанометрӣ
- Диапазони максималии андозагирии амудӣ: 500 мкм, барои микросохторҳои баланд-паст ҷойгиркунии такрорӣ лозим нест.
-Суръати сканкунӣ: 100 мкм/с, як сканкунии пурра дар давоми 10 сония анҷом дода мешавад, ки дақиқӣ ва қобилияти санҷишро мувозинат мекунад.
-Мутобиқи стандартҳои пайгирии NIST, алгоритми калибрченкунии худкори дарунсохт маълумоти пайваста пайгирии партиявиро таъмин мекунад ва ба стандартҳои қатъии QC барои саноати нимноқилҳо ва оптикӣ ҷавобгӯ мебошад.
| Ашё | Параметр |
| Андозагирии иқтидор | Топографияи сатҳи сеченакаи маводҳои инъикоскунанда ва ҷузъҳои оптикӣ, ноҳамвории сатҳ, баландии зинапоя ва ғафсии плёнка |
| Усули ба даст овардани маълумот | Интерферометрияи сканкунии амудӣ (VSI) + Интерферометрияи тағйирдиҳандаи фаза (PSI) |
| Системаи калибрченкунӣ | Стандарти пайгирии NIST + алгоритми калибрченкунии автоматӣ |
| Диапазони ченкунии амудӣ | 500 мкм |
| Майдони назар | Ҳадафи 20×: 0.87 × 0.65 мм |
| Иҷрои камера | Ҳалли максималӣ: 2048 × 2448; Суръати кадр: 74 Fps; Чуқурии бит: 12 бит |
| Суръати сканкунӣ | 100 мкм/с (Ҳолати дақиқ) |
| Имконоти линзаи объектив | Ҳадафҳои калонкунии 20x / 50x танзимшаванда |
| Тарроҳии насб | Платформаи фаъоли изолятсияи ларзиш, васлкунии уфуқӣ ва амудӣ дастрас аст |
| Андозаи умумӣ (Д×П×Б) | 120 × 80 × 65 см |
| Вазни холис | ≤58 кг |
3. Тарроҳии ҳамгирошудаи саноатӣ барои шкаф, мувофиқ бо хатти лабораторӣ ва истеҳсолӣ
Барои ҳам коргоҳҳои истеҳсоли оммавӣ ва ҳам лабораторияҳои тадқиқоти илмӣ бо мутобиқати насби чандир оптимизатсия шудааст.
Платформаи фаъоли изолятсияи ларзиш: Андозагирии устувор дар зери ларзиши заводӣ, ба мизи изолятсияи иловагии ларзиш ниёз нест.
Сохтори васлкунии дугона: Танзими уфуқӣ ё амудӣ, ҳамгироии осон бо хатҳои истеҳсолии автоматӣ ва ҷойҳои кории лабораторӣ.
Корпуси компактӣ барои ҳама дар як: масоҳати хурд бо андоза 120 × 80 × 65 см, вазн ≤58 кг, ҷойгиркунии осон дар ҷои кор.
Системаи пурра манбаи рӯшноӣ, блоки асосии интерферометр ва модули идоракуниро муттаҳид мекунад. Пас аз кушодани бастабандӣ, танзими мураккаби масири оптикӣ лозим нест.
Фарогирии васеи татбиқ барои истеҳсоли дақиқи баланд
Саноати нимноқилҳо: Топографияи сеченака ва санҷиши баландии зинапояҳои пластинаҳои кремний ва микро-нано.
Оптикаи дақиқ: Санҷиши ноҳамворӣ ва ғафсии плёнка барои линзаҳои оптикӣ, ҳадафҳо ва унсурҳои оптикии пӯшонидашуда.
Рӯйпӯшҳои нави функсионалӣ: Таҳлили профили сатҳӣ ва ғафсии рӯйпӯшҳои инъикоскунанда ва плёнкаҳои тунуки функсионалӣ.
Лабораторияҳои тадқиқоти илмӣ: Тавсифи сохтори микронано ва санҷиши дақиқи морфологияи ҷузъҳо.
Бо таҷрибаи чандинсолаи касбӣ дар соҳаи тадқиқот ва рушди оптикӣ, ширкати Wavelength OE мустақилона ҳамаи роҳҳои асосии оптикӣ ва алгоритмҳои андозагириро барои интерферометрҳои нури сафед таҳия мекунад. Назорати пурраи техникӣ аз манбаъҳои рӯшноӣ, линзаҳои объектив то системаҳои калибрченкунӣ. Ҳар як дастгоҳ пеш аз таҳвил калибрченкунии дақиқи бисёрдавраиро мегузаронад. Мо дастгирии пурраи техникии пас аз фурӯшро пешниҳод мекунем ва роҳҳои ҳалли истисноии андозагириро дар асоси андозаи қисмҳои корӣ ва талаботи хатти истеҳсолии автоматӣ танзим мекунем.
Вақти нашр: 15 июли соли 2026